卧式化学气相沉积炉(沉积炭)
产品描述:卧式化学气相沉积炉(沉积炭)主要用于以碳氢气体(如C3H8、CH4等)为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理应用范围:炭/炭刹车盘、炭炭板材、晶体炉坩埚、热压模具、高温发热体/紧固件、热场材料等
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征
电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;
采用智能压力调控,压力波动小;
全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;
多级高*尾气处理系统,环境友好,能高*收集焦油及副产物,易清理;
可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率*;
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)配置选择
结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式:手动/自动
炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗:石墨/CFC/金属
热电偶:K/N/C/S分度号
电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)