卧式化学气相沉积炉(沉积炭)

产品描述:卧式化学气相沉积炉(沉积炭)主要用于以碳氢气体(如C3H8、CH4等)为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理应用范围:炭/炭刹车盘、炭炭板材、晶体炉坩埚、热压模具、高温发热体/紧固件、热场材料等


卧式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征

电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;

采用智能压力调控,压力波动小;

全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高*尾气处理系统,环境友好,能高*收集焦油及副产物,易清理;

可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率*;

卧式化学气相沉积炉(沉积炭)配置选择

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗:石墨/CFC/金属

热电偶:K/N/C/S分度号

电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)




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