立式化学气相沉积炉（SiC、BN）
产品描述：立式化学气相沉积炉（SiC、BN）可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等应用范围：外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料等
立式化学气相沉积炉（SiC、BN）技术特征
采用***的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级高*尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易*易*气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；
可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低；
使用工艺气氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
立式化学气相沉积炉（SiC、BN）配置选择
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗材质：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组