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洁净棚设计:

1、洁净棚框架的配置:万级洁净棚以工业铝材作为框架,具有稳固、美观、不生锈、不产尘的特点;

2、洁净棚防静电垂帘的配置:万级洁净棚四周用防静电垂帘或者是钢化玻璃隔开,具有防静电效果好、透明度高、柔韧度好、不变形、不易老化的优势;

3、洁净棚风机滤网机组FFU的配置:万级洁净棚采用新加坡PCI直驱式离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可三档调速等特性,风机质量可靠,工作寿命长达50000小时以上;加上的风道设计,大大提高了风机的效率、降低了噪声!内部净化级别可达100-100K级;


1、洁净厂房必须根据建筑面积、工艺生产性质、洁净度等级以及净化空调系统等特点制定安全制度。?

2、洁净厂房的工作人员应严格执行工艺操作规程、熟悉安全疏散口的位置,消防器材、电气开关和报警器等设备的位置及使用方法。?

3、洁净厂房内的安全通道和安全门,必须经常保持畅通无阻,安全门必须保证随时可以开启,对事故通风、事故照明、防火阀和消防设施应定期检查是否完好。?

4、、气体管道必须定期进行检查是否漏气、放散管是否通畅,防火器是否有效等。?

5、洁净厂房发生火警时,应立即发出警报,关闭风机节断电源;、和危险品,应存放妥当,并由专人检查无误后,才能离开。?

6、对于洁净厂房内经常使用的、和等危险品以及酸碱等腐蚀剂,必须遵照有关规定安全使用和专人妥善保管,荆门洁净棚,不得随便堆放和操作使用。?

7、在洁净厂房内工作的人员和净化空调系统运行管理人员中,应专人负责日常安全检查工作。







洁净棚的温湿度控制非常重要,不合宜的温湿度会影响洁净效果。但是温湿度的控制主要还是根据工艺要求来确定的,工艺性高也就代表着洁净度越高。

湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。

具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,洁净棚供应,温度上升1度,洁净棚厂家,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,不锈钢洁净棚哪家好,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。




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