洁净棚的温湿度控制非常重要，不合宜的温湿度会影响洁净效果。但是温湿度的控制主要还是根据工艺要求来确定的，洁净棚定制，工艺性高也就代表着洁净度越高。

湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，洁净棚安装，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，荆门洁净棚，对产品将有污染，洁净棚设计，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

洁净棚是一种快速组建的简易洁净室也是一种“微环境”其具有安装快速、施工周期短、价格低廉、移动方便等特点，把主要生产工序控制在较小的环境内也是洁净室设计的选择，洁净棚广泛用于电子、精密仪器加工，制药、以及食品等行业，是这些行业不可却少的洁净设备。洁净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成，外壳喷塑。洁净棚洁净等级主要分为100级、1000级、10000级、10万级、30万级。

那么如何来确定洁净棚施工方案呢？

洁净棚施工方案：主要通过现场条件及周围环境来确定

1、要有足够大的空间安装洁净棚；

2、尽量把洁净棚安装在出风口处，从而来延长其过滤器的寿命；

3、不宜安装在多尘、潮湿或者是容易受盐碱侵蚀的地方；

4、安装前应用酒精将软帘、洁净棚FFU、框架、有机玻璃上的积累的灰尘擦去；

5、安装人员如果在洁净室安装要装上无尘服，防护鞋，戴安全帽；

6、洁净棚安装建议在洁净室中安装，如果在非洁净室中安装的话，一定要做好门、窗密封；

7、洁净棚安装完毕要做一下洁净度检测工作，一般是采用粒子计数器检测，在“空态”或“静态”环境下测数据，进行验收工作。

1、框架：以工业铝型材、不锈钢方管、烤漆铁方通作为主体结构。框架稳固、美观、不生锈、不产尘。?

2、防静电PVC网格帘：四周采用防静电PVC网格帘/有机玻璃，防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化。?

3、FFU送风机组：采用***PCI离心风机，具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性。风机质量可靠，工作寿命长，加上的风道设计，大大提高了风机的效率、降低了噪声，内部净化级别可达100-100000级；特别适用于车间内局部净化级别要求高的区域，如流水线作业、实验室、无菌室等区域。?

4、内部采用洁净室LED净化灯，亮度高，不易产尘，维护方便。

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