检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。立式结构的进、排气口水平设置，液环式真空泵，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，无油真空泵，即进、排气方向是相互垂直的。

 

 真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，西宁真空泵，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。立式结构的进、排气口水平设置，真空泵厂商，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。

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