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①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

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油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，氦质谱检漏仪，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。真空冷冻干燥真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，氦质谱检漏仪，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。

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电子云是电子在原子核外空间概率密度分布的形象描述，电子在原子核外空间的某区域内出现，好像带负电荷的云笼罩在原子核的周围，人们形象地称它为“电子云”。它是1926年奥地利学者薛定谔在德布罗伊关系式的基础上

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