光学平台隔振注意事项

无论何种激光应用，为维持光路稳定，振动隔离和桌面阻尼的重要性都是再强调也不为过。一套复杂的光学系统是否稳定，在很大程度上取决于光学平台和隔振腿的性能。随着应用的不断丰富，光学系统的设计正变得愈发复杂，也为光路稳定性带来更大挑战——如果安装使用不正确，将难以起到效果。

光学平台的作用是提供动态刚度(Dynamic rigidity)。光路的稳定性主要受桌面长轴方向上点对点的相对运动影响。这些相对运动产生于桌面上搭建的设备、空气调节(HVAC)系统以及其他声音来源。削减这些振动的方案是在来源处即行隔绝，比如在设备与桌面间放置柔性垫、为排气管增加挡板或使用隔声罩。需要注意的是，光学平台尽管提供了相对稳定的环境，但不能完全阻止来自桌面本身的振动，从而影响桌面上的其他设备。

精密光学平台气囊减振及机械阻尼减振，气囊减振可获得较低的频率（0、7-3）Hz，机械阻尼减振效果稍逊(3-6)Hz所采用不同的方法减振效果也不同，在选择精密光学平台的时候要考虑所要求的精密光学平台其减振性能与实验采集数据的精密性相适应，精密光学平台调试精密度与稳定性能也直接影响数据的正常采集。

精密光学平台的桌腿中装有气动单元，它与平台的材料及设计相结合可以减少环境中的物体（例如人员走动、建筑物内其它设备以及行驶的汽车等）造成的大幅度低频振动。这些外部力会使平台发生刚体运动，这种运动本质上是2维的并且对大多数光学实验不会造成影响。在千赫兹频段的高频振动也不会明显地影响平台的稳定性。然而，造成精密光学平台表面弯曲的中频共振及弯曲振动会对光学实验的准直造成极大影响。

随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，气浮隔振平台，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。

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