随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，阻尼隔振平台，各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。

精密光学平台气囊减振及机械阻尼减振，气囊减振可获得较低的频率（0、7-3）Hz，机械阻尼减振效果稍逊(3-6)Hz所采用不同的方法减振效果也不同，在选择精密光学平台的时候要考虑所要求的精密光学平台其减振性能与实验采集数据的精密性相适应，精密光学平台调试精密度与稳定性能也直接影响数据的正常采集。

精密光学平台的桌腿中装有气动单元，它与平台的材料及设计相结合可以减少环境中的物体（例如人员走动、建筑物内其它设备以及行驶的汽车等）造成的大幅度低频振动。这些外部力会使平台发生刚体运动，这种运动本质上是2维的并且对大多数光学实验不会造成影响。在千赫兹频段的高频振动也不会明显地影响平台的稳定性。然而，造成精密光学平台表面弯曲的中频共振及弯曲振动会对光学实验的准直造成极大影响。

随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如，用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果，在曝光过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动，不存在相对位移，成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动，则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时，控制相对运动都是很重要的。

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