控制温度变化：随着时间的延续，不规则温度变化会造成渐渐的结构弯曲。减小温度效应的关键在于控制环境减少温度变化。例如，光学平板，避免在平台下放置散热设备，隔绝热源设备和硬件，光学面包板定制，如光源、火焰等，尽可能将台面设计成对温度不敏感：良好的热传导性可起到作用，然而，在极I端特殊的应用中，选用不随温度变化而改变外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不胀钢，光学面包板，具有很小的热膨胀系数。一米长的超不胀钢在温度变化1K时膨胀长度约0.2微米。

用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果，在曝光过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动，不存在相对位移，成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动，则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时，控制相对运动都是很重要的。

随着经济的发展，光学平板的使用越来越多，从紫外到近红外，SFS的温度稳定性，耐热性都很好。 准分子激光用SFS，用于高功率的准分子激光 去除抛光面的次表面缺陷（微小裂纹），对于改善膜的质量，提高耐高功率激光的稳定性很重要。光学板的两侧经过抛光，通常用作透射元件，如分光镜或窗口，或用作全反射器或光学测量的参考面。Bk7基板通常用于可见光和近红外区域。从紫外到近红外，sfs 具有良好的温度稳定性和耐热性。用于高功率准分子激光器 krf （248nm）的准分子激光器 sfs 具有较低的荧光性能。

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