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这种双面加工,一般速度不高。下模比较大,上模比较小,光学平板厂家价格,挡圈直径比上模大,比下模小。适当地调节上模的摆动量,可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时,人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工,比单面加工提高了效率,但被加工的平面度和双面的平行度则达不到很高的要求,所以只适用于般精度平板的加工。
随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展,由于大批量半导体硅片加工的需要,国外出现了双面高速加工机床,适用于半导体硅片的双面研磨和抛光,进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。
随着经济的发展,光学平板的使用越来越多,从紫外到近红外,SFS的温度稳定性,耐热性都很好。 准分子激光用SFS,用于高功率的准分子激光 去除抛光面的次表面缺陷(微小裂纹),对于改善膜的质量,提高耐高功率激光的稳定性很重要。光学板的两侧经过抛光,通常用作透射元件,如分光镜或窗口,或用作全反射器或光学测量的参考面。Bk7基板通常用于可见光和近红外区域。从紫外到近红外,sfs 具有良好的温度稳定性和耐热性。用于高功率准分子激光器 krf (248nm)的准分子激光器 sfs 具有较低的荧光性能。
自动化加工过程:自动化加工系统平台和面包板的特殊之处是采用自动轨道机械哑光表面加工,比老旧的平台产品更加平滑、平整。这些平台经过改善的表面抛光处理后,表面平整度在1平方米(11平方英尺)内可达±0.1毫米(±0.004英寸),为安装部件提供了接触表面,不需要使用磨具对顶面进行打磨。平台和面包板设计还可以采用大半径圆角,这样能减少实验室中的尖锐边缘,提高安全性。
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