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志城精研科技(图)-精密光学平板-光学平板
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目前国内外一般较为成熟的隔振技术为被动隔振技术,光学平板定制,但被动隔振技术对于隔离低频和超低频振动效果不理想。另外由于其特征值为定值,响应时间比较长,又缺乏灵活的控制算法,所以不适合高精度、快响应的振动控制要求。而主动隔振技术由于采取对振动系统实行闭环校正,在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力,因而具有理想的隔振效果,正逐步应用于精密制造、测试与装配的高精密的隔振平台中。
固有频率:固有频率也称自然频率,物体做自由振动时,其位移时间按正弦或余弦规律变化,振动的规律与初始条件无关,而仅与系统的固有特性有关(如质量、形状、材质... ...),称为固有频率,其对应周期称为固有周期,光学平板,物体做自由振动时,其位移随时间按正弦规律变化,又称为简谐振动,简谐振动的振幅及初相位与振动的初始条件有关,光学面包板尺寸定制,振动的周期或频率与初始条件无关,而与系统的特性有关,称为固有频率或者固有周期物体自由振动。
控制温度变化:随着时间的延续,不规则温度变化会造成渐渐的结构弯曲。减小温度效应的关键在于控制环境减少温度变化。例如,避免在平台下放置散热设备,精密光学平板,隔绝热源设备和硬件,如光源、火焰等,尽可能将台面设计成对温度不敏感:良好的热传导性可起到作用,然而,在极I端特殊的应用中,选用不随温度变化而改变外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不胀钢,具有很小的热膨胀系数。一米长的超不胀钢在温度变化1K时膨胀长度约0.2微米。
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