质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大， 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较， 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源，数字电压表， 设定电位器， 外设、内设转换和三位阀控开关等。
质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）， 是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，气体质量流量阀，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器， 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）， 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，流量阀，它能自动控制气体流量，流量阀量测参数说明，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
热式气体质量流量控制器产品特点
热式气体质量流量控制器有采用***的信号处理技术及创新型控制阀设计，可根据需要设定量程范围，流量控制稳定，受过程波动的影响低，流量阀厂家，还可以实现多种通讯方式及客户定制的I/O功能，在通用性和用户操作方便性方面具有突破性的变革与创新。
热式气体质量流量控制器在切换到其它功能时无需将仪表从系统中断开，在使用现场就可以调整量程，有效地节省了因拆装和再校准而产生的费用，是用户节省成本的好帮手。
弗罗迈质量流量控制器的突出特点是精度高，质量测量精度可达0.1%！传统的流量测量方式通常采用体积测量法。比如：椭圆齿轮流量计、双转子式流量计等，体积流量计的测量精度一般为02%，在体积测量的基础上再通过温度、密度的换算转化到质量流量，如此这般计量需经过多个中间环节，对质量值的累积误差就会比较大胃，转换成的质量精度通常在0.3%左右。而弗罗迈质量流量控制器因为其测量原理的优势，能够直接获得液体的质量流量，所以往往精度可达0.1%，相比传统的流量测量方式更加。
下次我们来讲讲弗罗迈质量流量控制器在密度方面在测量精度。
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