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这种双面加工,一般速度不高。下模比较大,上模比较小,挡圈直径比上模大,光学面包板厂家定制,比下模小。适当地调节上模的摆动量,可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时,人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工,比单面加工提高了效率,光学平板,但被加工的平面度和双面的平行度则达不到很高的要求,所以只适用于般精度平板的加工。
随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展,由于大批量半导体硅片加工的需要,国外出现了双面高速加工机床,适用于半导体硅片的双面研磨和抛光,进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。
电动平移台光学平台,又称光学面包板、光学桌面、科学桌面、实验平台,光学面包板定制,供水平、稳定的台面,一般平台都需要进行隔振等措施,保证其不受外界因素干扰,使科学实验正常进行。光学平台追求水平,首先加工的时候整个台面是极平的。之后台面置放与四个联通的气囊上,以保证台面水平。台面上布满成正方形排列的工程螺纹孔,精密光学平板,用这些孔和相应的螺丝可以固定光学元件。这样,当你完成光学设备的搭建,系统基本不会受外来扰动而产生变化。即使按动台面,它也会因为气囊而自动回复水平。
随着经济的发展,光学平板的使用越来越多,从紫外到近红外,SFS的温度稳定性,耐热性都很好。 准分子激光用SFS,用于高功率的准分子激光 去除抛光面的次表面缺陷(微小裂纹),对于改善膜的质量,提高耐高功率激光的稳定性很重要。光学板的两侧经过抛光,通常用作透射元件,如分光镜或窗口,或用作全反射器或光学测量的参考面。Bk7基板通常用于可见光和近红外区域。从紫外到近红外,sfs 具有良好的温度稳定性和耐热性。用于高功率准分子激光器 krf (248nm)的准分子激光器 sfs 具有较低的荧光性能。
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