随着科学技术的发展，各项科学实验的要求越来越高，各领域里的实验仪器精度不断攀高，所以同时要求实验的环境越来越好。在传统隔振基础上面，不断细化，如今变成了一个能够针对各类实验的高精度 的工作平台，它充当起了一个各项实验的安静的系统工程。可由于我国的振动研究比较晚，光学平板，大多数顶端仪器依赖 进口平台，所以目前我国很多科研单位和大学实验室都使用进口隔振产品。

随着经济的发展，光学平板的使用越来越多，光学面包板尺寸定制，从紫外到近红外，SFS的温度稳定性，耐热性都很好。 准分子激光用SFS，用于高功率的准分子激光 去除抛光面的次表面缺陷（微小裂纹），对于改善膜的质量，提高耐高功率激光的稳定性很重要。光学板的两侧经过抛光，光学面包板定制，通常用作透射元件，如分光镜或窗口，或用作全反射器或光学测量的参考面。Bk7基板通常用于可见光和近红外区域。从紫外到近红外，sfs 具有良好的温度稳定性和耐热性。用于高功率准分子激光器 krf （248nm）的准分子激光器 sfs 具有较低的荧光性能。

目前国内外一般较为成熟的隔振技术为被动隔振技术，但被动隔振技术对于隔离低频和超低频振动效果不理想。另外由于其特征值为定值，响应时间比较长，又缺乏灵活的控制算法，光学面包板厂家定制，所以不适合高精度、快响应的振动控制要求。而主动隔振技术由于采取对振动系统实行闭环校正，在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力，因而具有理想的隔振效果，正逐步应用于精密制造、测试与装配的高精密的隔振平台中。

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