等离子刻蚀机爱德华Edwards真空泵GV80+EH1200
价格:¥13,000.00

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Edwards爱德华GV80+1200 PCB板蚀刻真空泵等离子高真空蚀刻机真空设备应用介绍


PCB板在蚀刻工艺中大都是:制成一个大容器(根据PCB尺寸和产量以及用途),形成真空,然后向真空容器中通入所选气体(根据所处理的PCB材料性质来确定)。


保持一定真空度,由射频电源或中频电源向向真空容器内的正、负电极间施加高频高压电场,气体在电场下的两极之间电离形成电子、离子、自由基、游离基团和紫外线辐射粒子等组成的高能量和高活性的等离子体。


这些等离子体对各种各样的有机材料组成的极板都能进行反应,如聚酰ya胺(PI)、环氧、BT、jing suan酯、聚bin烯,甚至聚四氟乙烯(Toflon)等树脂都可以采用这种技术。若选用含氟化物(如CF4)气体,则可对含Si或SiO2进行处理(蚀刻)。


目前,对于各种多层板除钻污时,大都采用O2和CF4,而对于不含Si或SiO2的纯树脂类来说,如涂树脂铜箔等,则采用O2和H2或部分N2等气体。


等离子一定是在高真空度的条件下形成的,需根据蚀刻机的大小所选配真空设备。


Edwards爱德华GV80系列干式真空泵


GV系列干泵包括GV80和GV110,设计用于处理大量可冷凝蒸汽和微粒负载,使您能够以zui少的服务干预和较低的总体使用成本,获得稳定的真空性能。


GV系列包括 GV80、GV110 和 Drystar® GV80 预配置套装。为严苛的工业应用而设计,具有稳定且可重复的性能。由于能够在高压水平下连续运行,这使其成为颇具成本效益的干式真空系统。


GV80真空泵能够连续运行,并能够处理大量可冷凝蒸汽。凭借清洁、安静的真空抽送能力和较少的服务中断时间,GV80 可提供稳定的输出和可重复的真空性能。


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