真空泵的范围要求及工作压强

真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

正确的选择其真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

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真空泵使用注意事项：1)、在蒸馏系统和真空泵之间，必须装有吸收装置； 2)、蒸馏前必须用水泵抽去系统中的蒸气；3)、如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，真空泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵；4)、减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。

真空泵开泵

（1）启动前的准备

a、清扫泵体及周围的卫生。

b、检查泵的出入口管线，阀门、法兰、压力表接头是否符合要求，供水

  管是否畅通，地脚螺丝及其他部件有无松动。

c、通过供水管路向真空泵供水冲洗，用手盘动转子，然后通过放水管路

  把污水排净，对试运或投用过正式运行的机组，停车2天以上的重新

  启动时要盘车冲洗。

d、检查连轴器护罩是否上好。

e、电机拆线检修后检查电机转向是否符合真空泵的转向。

（2）启动

a、先缓慢略开出口阀。

b、开启供水阀向泵水，水环真空泵价格，当自动排水阀有液体流出时，关闭水阀。

c、打开真空泵进口阀。

c、当自动排水阀没有水流出时，启动电机，同时打开供水阀，调节供水阀使真空压力表在（0～-0.003Mpa）之间。

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