无机类异物清洗主要用水冲洗，但是水往往是以不同压力及形式冲洗在玻璃基板的表面。① HPMJ—High Pressure Micro Jet，硅片清洗， 高压微粒喷射清洗技术，通过对水增压，在喷嘴处以高压水微粒形式，喷射在玻璃基板表面，达到去除表面大颗粒异物的目的。有些制程特性的需求，也可以和二氧化碳一起混合加入，形成二氧化碳水，即碳酸，让水可以导电，达到可以去除静电的目的。② AAJET—Aqua Air Jet，水气二流体清洗技术。这种技术是把水和空气在一定的压力下，按照一定的比例从喷嘴中喷出。其中喷嘴的形式，有单个喷出扇形模式，也要直接采用Slit Nozzle模式，即喷出为水幕。第二种喷出形式在玻璃基板表面形成的压力较为均匀，不会对产品产生不良。③Roller Brush- 旋转毛刷清洗技术，利用高速旋转的毛刷并增加适当的压入量，硅片酸洗台，达到清洁玻璃表面异物的目的。

清洗设备应用行业

1. 石油化学工业:设备和管道的清洗、除垢、除焦、清除高分子聚合物和生产工艺中沉积的缩合物等。

2. 精密电子工业:光学仪器、精密机械及机器人以及零部件的洗净.

3. 电力工业:高压输变站设施及配电柜和变压器等清洗。

5. 机械工业:金属设备的酸洗、除锈、钝化、去油和镀膜以及精加工前的金属表面处理。

6. 冶金工业:各种冶炼炉冷却系统高硅垢的清洗、以及液压、润滑系统的清洗。

7. 热能动力工业:、热电厂、工业锅炉的清洗除垢和水质处理。

8. 交通运输业:船舶、内燃机车、汽车等的清洗。

9. 建筑工业:建筑物墙面、上下水管道、采暖及通风设备和各种中央空调设备的清洗。

10.宝石加工、钟表工业、光学机械等精密工业:计量仪表、钟表线、手饰、带扣打字盘、凹型部件、环、齿轮、发条、轴承、宝石、透镜、眼镜架、贵重金属装饰品、照相机、快门、零件、钻研模具

11.汽车工业:阀、点火栓、气化栓、制动泵、燃料泵、蓄电池、电极板、活塞环、机器操纵盘、部件、内部装配的部件、摩托车用油箱

12.橡胶工业:手套、带子、白轮胎、橡胶制品、橡胶成型金属模

13.金融ji关:图章、受理号码牌子、瓷器、银制品

清洗作为一种人们日常生活中的基本活动，大家已经习以为常，普遍到没有人重视．我国在20世纪80年代以前，硅片腐蚀设备，还没有出现清洗行业的概念． 但是，近年来，盐城硅片，随着经济的快速发展和人们生活水平的提高．清洗也越来越引起人们的关注．一方面，90年代以后，随着经济发展和社会进步，清洗活动范围逐步扩大，出现了大批的清洗公司．特别是近几年．

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