半导体磁盘清洗机欲清洗工件放入料框内固定夹内，石英炉管腐蚀设备，由人工将料框放上入料口，等工位机械手自动将料框送入清洗机本体，石英炉管腐蚀，上下提升机构依照PLC的程序将料框搬送到相应高度位置;完成对工件的洗剂清洗、纯水喷淋、纯水超声漂洗、慢提拉脱水和热风干燥后，泰州石英炉管，送至清洗机出口，运送到卸料台出料。等丁位机械手由气制横向驱动，直线滑轨导向;上下提升由马达驱动，直线导轴导向;慢提拉提升机构由变频马达驱动，直线滑块导向;上下料由上下提升机构独立完成;采用触摸屏操作系统，有手动和自动切换开关及有关操作按钮，能对整个运行过程实行控制。

一种晶圆清洗机的防喷溅装置，该晶圆清洗机包含一晶圆承载装置及一围绕设置于该晶圆承载装置的周壁，该晶圆承载装置包括一承载吸盘，该防喷溅装置罩设于该晶圆承载装置外周围，该防喷溅装置包含一屏蔽单元及一驱动机构。屏蔽单元包括一顶端，屏蔽单元可相对于晶圆承载装置在一收合状态及一展开状态之间变换。在收合状态时，屏蔽单元的顶端与承载吸盘顶面相间隔一距离，在展开状态时，屏蔽单元的顶端与承载吸盘顶面相间隔一第二距离，第二距离大于距离。驱动机构与屏蔽单元相连接用以驱动屏蔽单元在收合状态及展开状态之间变换。借此，石英炉管腐蚀机，可将清洗液喷溅的范围限制在屏蔽单元内，以防止清洗液喷溅至其它物件。

热水高压清洗机的故障处理方法

1、热水高压清洗机锅炉不能正常点燃的原因 一般商用热水高压清洗机都采用高压电极放电点火，再通过电磁阀来控制供油、控制锅炉的燃烧。不能正常点燃的原因通常有以下几种：温控损坏、压力、流量、供油等传感器未正常传递工作信号，以及柴油泵损坏、喷油嘴堵塞或损坏、油泵的出油阀堵塞或位置不对，点火叉积炭、位置不对或损坏。