HEPA过滤器历史

原始的HEPA过滤器在40年代被设计了和用于曼哈顿项目防止传播空中放i射性污染物。 它在50年代商业化，并且成为了注册商标，一般术语为非常有效率的过滤器。 在十年过滤器演变满足对空气质量的更高和高需求以各种各样的高技术产业，例如航空航天，配药处理，北京滤芯，医院、医i疗保健、核燃i料，复合折叠滤芯，核能和电子microcircuitry(计算机芯片)。

半导体设备如何选择过滤器

1.公称精度和绝i对精度

在判定过滤器性能的时候，我们经常会提到一个概念：公称精度和绝i对精度。

公称精度的概念较早。早期对污染物的衡量方法是称重，这是一个重量分析实验。

公称精度作为过滤精度标准存在一定的局限性。

有争议的微米级过滤精度

由制造商自己制定的标准

去除重量百分比

可变的、不可再现的下游流体质量

非固定孔结构

3.什么是MPPS?

MPPS: Most Penetrating Particle Size，滤芯厂家，易穿透粒径MPPS“通常”在0.1到0.2um之间。它会随过滤器面风速变化，但在HEPA过滤器常见的使用工况设计下，这个范围在80%的时间内是准确的。例如，工程机械车车用滤芯，常见的H14过滤器进风面风速是0.45m/s，这种情况下H14过滤器的MPPS是0.17/0.18um。Camfil的HEPA过滤器出厂扫描测试中，测试用的MPPS粒径值一定会被记录在测试报告和过滤器标签上

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