光电器件微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

在MEMS加工工艺中，从上到毫米，再下到微米的微结构加工技术都可称之为MEMS工艺制造，其在半导体和微电子工艺基础上发展而来，广东光电器件微纳加工，以光刻，镀膜，刻蚀，外延，氧化，溅射等许多基本的工艺制造复杂立体的三维微加工技术。与传统机械系统相比，不仅体现在很小的体积方面，其在力学i，光电器件微纳加工多少钱，运动学，材料特性等方面都有巨大差异！?

　　但无论哪种微小原件都离不开光刻，刻蚀，镀膜三大方面，就是在一个或多个循环的基础上形成我们想要得到的元器件，在这个过程中又以光刻技术为重要，所有的MEMS工艺都离不开光刻。光刻的好坏直接影响后续的镀膜刻蚀等工艺成败。因此在光刻过程中尤其注意图形分辨率以及套刻精度等方面的影响。

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MEMS微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

mems设计之硅压阻式压力传感器设计

　mems设计之硅压阻式压力传感器，顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器，其原理是敏感膜受压后发生形变，引起惠斯通电桥的不平衡变化，继而改变输出电信号。在传感器设计上，为了使传感器具备良好线性输出，要考虑其zui大变形量，光电器件微纳加工技术，敏感薄膜表面zui大应力差以及敏感芯片的压敏电阻变化率，以满足器件抗过载和输出灵敏度的要求。

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微纳加工制造技术的未来发展趋势

微纳加工制造作为新兴行业，具有很好的发展前景。它具体是指尺度为毫米，甚至是纳米量级的零件，光电器件微纳加工委托加工，以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。就目前的发展现状来看，微纳加工的工艺制程整体相对落后，人才比较稀缺，行业健全仍有很大的发展空间，未来发展趋势持续向好。

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