XRD小角度检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
样品的结构精修是以某一结构为初始值进行修正的。具有步骤如下:
(1) 物相检索,对物相的“初始结构”。
(2) 扣背景和Kα2、对图谱作平滑处理。
(3) 物相衍射峰的拟合。如果样品中存在几个物相,则全部衍射峰都要参与拟合。
(4) 选择菜单“Opti-Cell Refinement”命令,开始精修。
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X射线衍射仪(XRD)相关术语解释
Sollar狭缝测角仪上一组平行薄金属片光阑,XRD小角度检测多少钱,由一组平行等间距的、平面与射线源焦线垂直的金属薄片组成,用来限制X射线在测角仪轴向方向的发散,使X射线束可以近似的看作仅在扫描圆平面上发散的发散束。
脉冲计数率在衍射仪方法中,X射线的强度用脉冲计数率表示,单位为每秒脉冲数(cps)。检测器在单位时间输出的平均脉冲数,直接决定于检测器在单位时间接收的光子数。如果检测器的效率为100%,而系统(放大器和脉冲幅度分析器等)又没有计数损失(漏计),那么每秒脉冲数便是每秒光子数。
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不同晶粒度的同一物相,RIR值相差很大
RIR值实际上与物相的很多结构因素有关。晶粒大小是影响RIR值的关键因素。如果被测物相是纳米晶粒,也按正常的RIR值进行质量分数计算,则计算结果可能会与实际值相差很大。一般来说,晶粒越小,衍射峰高越低,则实际RIR值越小,有时只有PDF卡片上的RIR值的1/10。影响RIR值的另一个因素是粉末的研磨程度。研磨越久,RIR值会越小。
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