1级：尘埃易使芯片失效或者稳定性下降，当金属尘埃落于集成电路上时，就可能造成短路。当空气中的酸性离子落在电路上时，可能将电路腐蚀，因此净化空调系统对微电子工业而言至关重要。此外，液晶、光纤的生产也需要1级洁净度的要求。布置工艺的流程尽可能短，减少交叉往复，、物流走向合理。要配备人员净化室、物料净化室，除配备产品工序要求的用室外，还应配备洁具室、洗衣间、暂存室等，无菌净化车间，每间用室相互，净化车间设计，净化工程的面积应在保证基本要求前提下，与生产规模相适应。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

在十万级空气净化处理中，也可采用亚空气过滤器，进而代替空气过滤器。洁净度测定应包括悬浮粒子和微生物的测定。医行业对于空气洁净系统的要求相当严格，包括进风、空气处理、送风、排风等环节，因此，空气洁净系统必须周期性检测其质量特性。手术室及洁净内走廊墙壁体选用防锈、耐擦洗、耐酸碱、防火、隔音保温的金属材料（电解金属板或彩钢板）制成墙面，池州净化车间，墙体连接采用圆弧形式。

排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等，净化车间设计时，要根据实际情况选择。洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，实验室净化车间，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。对不同洁净度等级的洁净室，产生粉尘和有害气体的洁净室，被排介质毒性大的、有易1燃易1爆气体的岗位，应单独设局部排风系统。

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