真空模组高温模组，可以在10^-7Pa的真空环境下运行，耐温达200℃，真空机器人的设计首要考虑机构和材料。此系列产品大部分组件采用不锈钢加工或热膨胀系数相当的并且出气率低的材料。高低温、真空模组，真空机器人产品主要运用于真空室，高温室，高洁净度环境。

产品特点：一体化设计，可靠易用，标准化设计制造60、90、120三种规格，可定制其它规格，工作环境温度-196℃至+200℃，适用真空度10^-7Pa。

应用于半导体设备，真空应用设备，化工设备，环境模拟测试设备，驱动机械手，工业机器人，传送带等领域。