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高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、耐用、抗老化、体积小巧

在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能，保障其很高运行安全性。在轴承方面，的复合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。

泵运转时震动和噪音大

1.转子动平衡不好；

重新进行转子动平衡；

2.轴承润滑不好或轴承损坏；

检查并修复油路，或更换轴承；

3.前级压力过高；

降低前级压力；

4.泵安放位置不正确。

按照使用说明书正确安装。

涡轮分子泵系统常见故障及排除

故障

原 因

排除方法

极限真空度低

1.前级泵不匹配，抽气量不足；

重新选配合适的前级泵；

2.系统漏气；

查出并消除漏处；

3.泵体出气。

对泵体进行烘烤除气，烘烤温度不应高于150℃。

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分子泵使用过程出现的问题8总体安装注意事项

①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。②、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，ULVACNRL60A干式真空泵维修费，应转动灵活，无异常现象。③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。④、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。⑤、确认已装入润滑油。⑥、安装方向：油绳润滑：竖直、水平；油润滑：竖直方向±5°范围内；脂润滑：任意角度

是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。

如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。⑤、、分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。

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分子泵使用中有哪些注意事项？2.一文了解分子泵在半导体行业的应用3.如何科学地获得超高真空？4.国际热核聚变试验堆（ITER）的真空结构5.一千多台样泵用于各项测试，仅选很优方案，揭秘新型分子泵测试方法；真空聚焦真空行业新媒体平台：涡轮分子泵应用于质谱系统分子泵应用于紧凑型质谱系统。

质谱分析是指与质谱分析相结合的一种核分析技术，用于实现同位素比值的测定.需要清洁无油的高真空环境，一般采用干泵配备涡轮分子泵实现高真空环境.质谱系统需要分子泵抽真空原因:1.电子加速运动的需要;2.电子正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火，必须抽到高真空). 中科院某大型科技工程项目，工程的主体建筑是三大:一台150MeV（1.5亿电子伏特）的电子直线、一台能在0.5秒内把电子束能量从150MeV提升到3.5GeV（35亿电子伏特）的量增强器，以及一台周长432米的3.5GeV电子储存环，

经过技术推荐，成功采购爱发科涡轮分子泵和干泵，涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S，转速很高90，000rpm，极限真空很大1E-11mbar，对小分子气体具有更高的压缩比，实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100，000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用，推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.

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