工业洁净室：以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，十万级净化车间，内部一般保持正压状态。空气洁净室：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。与所有工业洁净厂房一样，空气洁净室也是工业洁净厂房中的一项重要技术。工业洁净厂房的空气洁净室提供的空气质量将直接影响在该环境中生产的微粒和微生物污染的水平，进而直接影响生产的质量。

应设置火灾报警系统，防止火情不易被外部发现而造成重大经济损失。洁净车间也与其他高技术一样，洁净车间技术的诞生和初步应用是服务于目的。在第二次世界大中，一些支、坦克、飞机等使用的仪器经常失效。洁净室对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等要求是非常高的，因此一般在做净化工程的时候在洁净室安装的过滤器都是过滤器。

一般洁净室高度控制在2.60米，对个别较高的设备可在局部加高，而不宜提高洁净区的高度。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

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