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高纯氦气用于电子制造业、高纯氧气用于特殊仪器。在化工行业，高纯氦气用于改变产品分子结构，提高乙烯、丙稀、氯化物工艺的生产能力、在炼钢行业，氧气用于提高钢材的产量和质量在炼油、煤制气行业，氧气用于石油提取和精制，增加油、气井产量和脱硫等。
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操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
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高纯氦气用于 二氧化硅的 化学气相沉积；作为氧化源与产生 高纯水的反应剂；干法氧化；与 四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。高纯氦气的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在 冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。
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