挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和焚烧等，关于低浓度的VOCs很难完成，而光催化降解VOCs 又存在催化剂简单失活的问题，使用低温等离子体处理VOCs能够不受上述条件的限制，工业废气治理，具有潜在的优势。 但由于等离子体是一门包括放电物理学、放电化学、化学反应工程学及真空技能等基础学科之上的交叉学科。因而，现在能老练的把握该技能的单位相当少，大部分宣扬选用低温等离子技能处理废气的宣扬都不是真实意义上的低温等离子废气处理技能。

（3）催化燃烧法

催化燃烧法使用催化剂使废气中可燃物质在较低温度下氧化分解，由于使用催化剂加速了氧化分解的过程，大多数碳氢化合物在300~450℃的温度时，工业voc废气治理，通过催化剂就可以氧化完全。与热力燃烧法相比，催化燃烧所需的辅助燃料少，能量消耗低，设备设施的体积小。但是，由于使用的催化剂的、催化床层的更换和清洁费用比较高。

2、硬件安全性

机械阻火器：防止氧化室由于粉尘颗粒物着火或者压力波动涉及管道发生回火；

LEL监测仪：严格控制RTO入口废气浓度不超过25%LEL；

喷淋洗涤塔：有效降低进入RTO的可燃性气体的浓度和固体颗粒物，延长停留时间；

浓度检测仪：废气浓度很高但不超过25%LEL，工业甲醛废气治理，应在前端足够距离处安装气体浓度在线检测仪，并采用稀释或增设旁通等方法，对废气进行安全处理；

紧急旁通：避免超过25%LEL的废气进入到RTO设备发生安全事故；

泄爆门：极速降低炉膛压力；

热电偶：多支用于温度显示、记录、连锁控制；

压差开关、压差表：防止炉体堵塞；

急停按钮：实现紧急停。

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