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真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等。真空镀膜机表面涂层材料具有很高的耐磨性和硬度,且耐高温。和未涂层的刀具比,涂层刀具允许采用较高的切削速度,提高了切削加工效率,也提高了在相同的切削速度下刀具的寿命。

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真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发。

其组成包括真空腔、机械泵、真空测试系统、油扩散泵、抽真空系统、冷凝泵以及成膜控制系统等等。




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