无尘室有那几种状态

1、竣工完成状态下的无尘室通常称为空态无尘室，是指已建成并具有全部有关的设施及功能，空调净化系统在运行但室内没有生产设备和人员的无尘室。

2、待工作状态的无尘室工程通常称为静态无尘室，百级无尘室，静态是指，（一）、室内设施及功能齐备、设备已然安装并运行但无工作人员时的状态，千级无尘室，或者生产设备按双方协商的方式运行而无生产人员的状态，（二）、生产全部结束后，操作人员撤离现场并经过20秒自净后的状态。

3、运行状态无尘室通常称为动态无尘室，是指正常运行、人员进行工作时的无尘室。

目前已推出的化学过滤器主要是：

a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，无尘室，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。

b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。

至今，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.

无尘室工程概述

无尘室工程(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，万级无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

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