薄膜油的表面测量不是一个几何概念，而是一个埋藏的概念，指的是表面分子(原子)的集合。平均表面指的是表面上所有原子的点对这个表面的代数和等于零。

我们通常把底物一侧表面分子集合的平均表面称为底物表面;膜边表面的平均表面称为膜的形状表面。将测量到的薄膜原子重新排列，使固体材料的密度和体积完全一致，均匀地分布在基体表面。那么平均表面称为薄膜质量当量表面。根据被测薄膜的物理性质，派瑞林真空镀膜设备哪里好，将其等效为与被测薄膜长、宽相同的大型固体材料薄膜，则其平均表面称为薄膜物理等效面。

　　真空镀膜设备的真空系统构成：

　　目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同，而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别，南头派瑞林真空镀膜设备，归纳起来主要有如下几种系统：通用真空系统、超高真空系统、制冷机低温泵系统。

　　一、通用真空系统

　　系统的主泵是油扩散泵，派瑞林真空镀膜设备厂在哪，泵上方设有水冷挡板(阱)，主泵的前级泵为机械泵。这种系统的工作压强在10-2～10-4Pa的范围内。

　　二、超高真空系统

　　在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵，就可以使镀膜室真空度提高到10-6Pa以上，从而得到超高真空系统。由于该系统仍采用油扩散泵，所以还是有油的系统。

　　镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空，有利于膜质量的提高。分子泵抽速很大，可以缩短工艺周期。

　　三、制冷机低温泵系统

　　使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点：无选择性气体、无碳氢化合物污染、具有较大的抽气速率、可以获得较低的极限压力、操作简单、蓬盘维护方便。

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2、 酸碱侵蚀处理

设备除油后，金属表面的氧化物可用酸蚀或碱蚀去除。热处理后，设备零件无油污。真空退火后可直接进行酸/碱腐蚀去除氧化层污染。

3.超声波清洗

超声波清洗原理：利用超声波引起的“空洞现象”原理（即通过超声波振动改变清洗介质的密度），达到真空镀膜设备的清洗效果。超声波的振动使介质稀疏时形成瞬时间隙，闭合时产生的瞬时冲击压力可高达几倍大气压冲击力，足以破坏附着在物体表面的油膜，使油膜和污染物落入一起解决。

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