食品净化工程卫生安全要求

　　要在车间内适当的地方，设置工器具清洗、消毒间，净化工程施工，配置供工器具清洗、消毒用的清洗槽、消毒槽和漂洗槽，净化，必要时，有冷热水供应。

　　在地面防滑性上，应选用防滑、坚固、不渗水、易清洁、耐腐蚀的材料铺制，洁净工程公司，车间地面表面要平坦，不积水。车间整个地面的水平在设计和建造时应该比厂区的地面水平略高，地面有的斜坡度

无尘车间净化技术的设备发展

　　美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的无尘车间洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把投资比例压缩到高ji别的微环境，无尘车间消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。

净化技术的设备发展

　　美国在台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0.1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。

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