超声波清洗发展

近年来还出现了超声波清洗的一种特殊应用-超声波除垢。超声波除垢主要是利用超声波强声场处理流体，使流体中成垢物质在超声场的作用下的物理形态和化学性能发生一系列变化，使之分散、粉碎、松散、松脱而不易附着管、器壁形成积垢。作为超声清洗的特殊应用，超声防垢广泛应用在锅炉、热交换装置和管道防垢、除垢领域。

喷淋式兆声喷头

单点喷淋式兆声清洗，无二次污染问题超高频超声波，频率可达3MHz清洗精度高，可去除0.2微米的污渍颗粒超低的声空化效应，兆声波清洗设备价格，不损伤器件表面无金属材质接触液体，兆声波清洗设备，无导电物质脱落风险腐性，可耐各种酸碱溶液及。

喷淋式兆声喷头是将兆声换能器嵌入到喷嘴中，以喷嘴的形式对被清洗物如晶圆等进行清洗。它的优势在于可点对点的直接对被清洗物表面进行处理，可让声能焦点直接处于被清洗物表面，然后再通过运动来实现整个二维平面的清洗。这种方式相比于槽式兆声清洗，其兆声转换效率更高，并且避免了槽式兆声清洗中声场强度随水槽液体深度变化而变化的问题，使被清洗物如晶圆表面获得的声能更均匀。另外，由于是喷嘴喷淋的方式，也不会发生像槽式清洗中水槽中的残留的脏污对被清洗物造成二次污染的问题。

超声波清洗的构成

超声波清洗机由以下几部分组成:1)超声波系统:包括换能器和超声波发生器。(1)换能器:换能器采用特种耐高温、耐振动、高粘度的树脂胶辅以特殊的方法加以固定，脱落，且可耐受100℃～150℃的高温。(2)超声波发生器:大功率超声波发生器可由超音频IGBT电力电子器件为主要元件构成，兆声波清洗设备公司，该种超声波发生器电路，结构完整，辅以灵敏可靠的集成控制系统。各种超声波发生器可独立工作，亦可多组并联使用，以完成大规模清洗工程。2)加热及温度控制系统。加热器通常采用不锈钢管材制成，兆声波清洗设备哪家好，可耐酸碱。加热的目的是将清洗剂加热以增加清洗机的洗涤效果。温度自动控制，可在适当范围内随意调整。3)清洗槽:清洗槽一般采用不锈钢经弧焊焊制而成，槽体上设置有排渣检修口、保温隔声层等，要保证水位至少应高出换能器盒200 mm以上。

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