逆流氦质谱检漏仪
逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如,多级油扩散泵对氦气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lO4~106。检漏时,通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气,仍有部分返流到质谱室中去,并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。
氦气检漏的主要技术性能
1.真空箱尺寸根据电芯尺寸确定;
2.一般为三箱联动系统,生产节拍可满足单台6PPM—12PPM;
3.开门方式,可根据用户生产工艺要求来设计,一般为平开门式、滑台合箱式;
4.上下料采用机械手或机器人,正常生产时设备无需人工操作;
5.系统配置二维码扫描装置,真空箱式氦检漏,可将每个电芯的检测数据对应存储;
6.具有清氦功能
7.具有氦气回收功能(此功能可选)
8.自动判断,并对应放置(即不合格品放于不合格线,真空箱式氦检漏报价,合格品放于合格线)
9.可通过触摸屏设置不同等级密码,更改设备参数;
10.人机交互界面,触摸屏实时反映运行状态和测试数据;
11.故障统计功能
12.系统采用配置和标准化设计制作,确保运行稳定。
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氦气检漏设备主要技术指标
实际使用氦气检漏设备时,其较小可检出泄漏率为5×10-13Pa·m3 / s; 泄漏率显示的范围为1×10-3—1×10-13Pa·m3 / s。; 启动时间保持在小于等于3min的范围内; 响应时间小于或等于1。0s; 检漏口较大压力:1000Pa; 电源需要220v,真空箱式氦检漏公司,50Hz,单相,10A。
使用氦气检漏设备时,请注意其机械泵的抽速为4L / S; 工作环境要求为5-40℃; 应注意相对湿度必须小于或等于80%; 尺寸:600(W)×550(D)×1000(H); 通常重量将保持在65kg。 关于氦气检漏设备,应注意其配备了标准氦气检漏装置,包括更详细的校准报告。
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