真空镀膜设备三大保养技巧

当阀泵连续工作一个月之后，为保持设备的正常运转我们需要更换油。将泵启动，拧开放油螺栓，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，L5000气相沉积设备，观察油视镜倒入新油加到一定额度，平常换油时应将油盖打开，有需要时用布擦干净箱内污垢。

扩散泵连续使用6个月以上，樟木头气相沉积设备，抽的速度会显然变慢，当操作不当应拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，H750气相沉积设备，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，气相沉积设备多少钱，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

Parylene 材料

Parylene N，聚对二甲苯。将二中的一个氢原子用一个氯原子所取代，就得到Parylene C；将其中两个芳香烃氢原子被氯原子取代，就得到Parylene D；苯环上的4个氢原子被氟取代，即可得Parylene F；而将二上的H原子替换为F原子，就得到HT型Parylene。

性能和用途

Parylene N是一种很好的介电材料，具有非常低的介质损耗、高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数。它是所有Parylene中穿透能力高的一种，有很好的自润滑性，摩擦系数为0.25。符合ISO-10993生物试验要求，符合UDP第六类塑料的生物试验要求。

派瑞林原料cN是一种很好的介电材料，具有非常低的介质损耗、高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数，是所有派瑞林原料c中穿透能力的一种，并具有很好的自润滑性；

派瑞林原料cF具有高通透性和介电性能好的特点，在光电和等领域都有着广泛的应用；

派瑞林原料cHT具有更低的介电常数，透波性能好，热稳定性好。

派瑞林原料c可以涂敷到各种形状的表面，在盐雾、霉菌、潮湿、腐蚀性等恶劣环境中显示了很好的隔离防护功能。而且生物相容性和生物稳定性也好，无毒无副产物，可以进行常规消毒。随着生物电子科学的不断进步和发展，领域的很多方面都有使用派瑞林。

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