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喷淋式兆声喷头

单点喷淋式兆声清洗,半导体晶圆清洗多少钱,无二次污染问题超高频超声波,频率可达3MHz清洗精度高,可去除0.2微米的污渍颗粒超低的声空化效应,不损伤器件表面无金属材质接触液体,无导电物质脱落风险腐性,可耐各种酸碱溶液及。

喷淋式兆声喷头是将兆声换能器嵌入到喷嘴中,以喷嘴的形式对被清洗物如晶圆等进行清洗。它的优势在于可点对点的直接对被清洗物表面进行处理,可让声能焦点直接处于被清洗物表面,然后再通过运动来实现整个二维平面的清洗。这种方式相比于槽式兆声清洗,其兆声转换效率更高,半导体晶圆清洗价格,并且避免了槽式兆声清洗中声场强度随水槽液体深度变化而变化的问题,使被清洗物如晶圆表面获得的声能更均匀。另外,由于是喷嘴喷淋的方式,也不会发生像槽式清洗中水槽中的残留的脏污对被清洗物造成二次污染的问题。








兆声波清洗机产品特点

兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点,而且克服了它的不足。在清洗时,由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动,瞬时速度可达到30cm/s。因此,形成不了超声波清洗那样的气泡,而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面,使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。

1、遵守铸造设备通用操作规程。2、工作前还必须遵守:a、检查管路系统有无漏气漏水的情况,山西半导体晶圆清洗,如有这种情况,应通知维修人员修理。b、检查清洗液是否足够,如果不够,及时增加清洗液。c、先点动试车,然后空运转2-3分钟,检查传动系统(电动机、联轴节、减速器)和运输带的运动是否平稳,确认一切正常后,方可进行生产。d、开启浮油排除装置(不带浮油排除装置除外)开始浮油排除,因此时水泵尚开启,水面平静,排油,待浮油基本排除后停止除油,排油污多克利用午休时间进行。







超声波清洗发展

近年来还出现了超声波清洗的一种特殊应用-超声波除垢。超声波除垢主要是利用超声波强声场处理流体,半导体晶圆清洗报价,使流体中成垢物质在超声场的作用下的物理形态和化学性能发生一系列变化,使之分散、粉碎、松散、松脱而不易附着管、器壁形成积垢。作为超声清洗的特殊应用,超声防垢广泛应用在锅炉、热交换装置和管道防垢、除垢领域。








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