负性SU-8光刻胶旋涂

为了创建稍后将成为模具的光刻胶层，我们使用匀胶机进行旋涂，旋转速度、加速度和 SU-8 光刻胶粘度将决定 SU-8 光刻胶层的厚度。

要成功执行此步骤，纯硅模具，必须采取一些预防措施：确保您的旋涂机完全平整。将晶圆尽可能居中放置在旋涂机卡盘上，以获得ziui佳的涂层分布。出于与晶片相同的原因，将您的光刻胶尽可能地居中。分两步涂覆 SU-8 光刻胶，一个在 10 到 30 秒内以低速和低加速度将光刻胶涂抹在基板上，然后在 30 到 60 秒内以高速和加速第二步以控制层厚度。使用微量移液器分配光刻胶以控制使用的 SU-8 光刻胶数量。

PDMS模具是一种基于模型的数字化设计工具，主要用于石油和工业。它能够为复杂的石化设备建立的数字模型，并提供了一种可视化的方法来管理和分析这些设备的生命周期，从初步的设计到生产、维修直至退役。
通过使用PDMS模具，工程师可以更有效地规划和管理空间利用率，优化制造流程并减少浪费。此外，该软件还提供了对多种材料特性的支持以及与其他软件的集成能力，从而可以在整个产品开发过程中实现更高的灵活性和效率。

环氧树脂SU-8模具硬烤（光刻胶的第三次烤）

第三次也是zui后一次光刻胶烘烤称为“硬烘烤”，这是该过程的zui后一步，但可以是可选的。在工艺结束时，SU-8 光刻胶内部会保留大量强度，这可能会在表面产生裂纹，甚至分层……硬烘烤会在高温（超过 120°C）下加热 SU-8 光刻胶压制这些力量。多亏了它，一些裂缝消失了，SU-8 光刻胶变得更硬了。再次，它与软烘烤和PEB相同，光刻胶的增加和冷却必须稍微进行。

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