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净化工程技术对精密机械和精细化工的意义:

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净化工程技术对半导体和集成电路生产的意义:

  半导体材料的提纯是半导体器件发展的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为了获得高纯度的硅材料,结净层流罩价格,原料和中间介质的高纯度以及生产环境的洁净度成为影响产品质量的突出问题。IC芯片的良率与芯片的缺陷密度有关,芯片的缺陷密度与空气中的颗粒数有关。因此,随着集成电路的快速发展,不仅要控制空气中粒子的大小,还要进一步控制粒子的数量。








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