真空除气储存柜设备简介

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可独立工作。具备以下主要功能：

1. 对储存箱室抽真空；

2. 控制储存箱室恒压稳定；

3. 具备加热烘烤功能；

4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能；

5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能；

6. 具备自动和手动两种操作模式；

7. PLC控制，触摸屏操作

真空除气储存柜维护要求

真空除气储存柜，又称真空存储箱，用于各类金属材料，化工原料，半导体芯片、电路板、电子器件，电池片、电池材料等其他易氧化材料的真空存储，硅片除气装置哪家好，防潮、防氧化。也可用于胶水的真空脱泡、除气等作用，经常在真空灌胶消气泡的工艺过程中应用。

1、放入需要保存的产品，快速抽真空到极限真空，硅片除气装置公司，可能逐渐回压到一个平衡值，长期保存；

2、放入保存的产品后，启动程序，硅片除气装置，快速抽至真空下限值，持续保压如箱内回压到上限值之后，会自动启动抽真空至下限值；

3、抽真空至下真空度后，自动充入氮气至常压，在无氧环境下保存产品。

为了提高空间的利用率，通常可以分为两腔，三腔，四腔，硅片除气装置价格，六腔体等等。根据产品的存放要求，存放时间和工艺产线要求，程序可以做不同的调整。

真空除气储存柜主要参数

1、炉型结构：卧式与立式，单室与双室或多室，炉体炉门采用双层水冷，前开门结构。由炉体、加热系统、真空系统、充气系统、水冷系统、电控系统组成。

2、极限温度：1500℃

3、工作区尺寸：按照用户需求定制

4、设备总功率：20-100 KW（含加热系统、真空机组、制冷机）

5、电源频率：50Hz

6、电源电压：三相380 V（±10V）

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