理化性质: 六氟化硫（SF6）常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体，分子量146.06，内蒙古氦气，密度6.139g/l，约为空气的5倍。是已知化学安定性的物质之一，其惰性与氮气相似。它具有极i好的热稳定性，纯态下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有的电绝缘性和灭弧特性，相同条件下，其绝缘能力为空气、氮气的2.5倍以上，灭弧能力为空气的100倍。六氟化硫的熔点为－50.8℃，可作为－45－0℃温度范围内的特殊制冷剂，又因其耐热性好，是一种稳定的高温热载体。

电子气体　

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投人、高附加值的高新技术产业　电子气体的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、非晶硅太阳能电池、液晶显　示器件、光导纤维生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产。　半导体工业用气体的特点是品种多、质量要求高、用量少，氦气怎么用，大部分是有毒或腐蚀性气体。

影响标准气体量值稳定的因素：

1、气瓶和阀门材料 在气体充装前， 要充分考虑到气体各组分与气瓶材料， 阀门及密封材料的相容性， 作为标准气体的包装容器，氦气报价， 碳钢，铝合金材料已被广泛应用。不同浓度，不同组分的标准气体是否和气瓶材料或阀门材料相容， 直接影响到标准气体的质量。如氟i化氢，氯i化氢，氟i气，氯i气， 氯甲i烷，氯乙i烷，CH3-Br等与铝产生反应， 不能用铝合金气瓶直接盛装。一定浓度的腐蚀性气体不能选择铜阀而需要选择不锈钢阀。

2、气瓶处理方法 用于盛装标准气体的气瓶， 内表面需进行常规处理和特殊处理， 以保证标准气体量值的稳定。处理方法包括加热除去气瓶内的水分， 抽真空置换除去空气及其他杂质气体， 内表面涂层使气瓶内表面减少与组份气体的物理吸附或化学反应；内表面钝化使气瓶内表面具有好的惰性， 有利于活泼性气体混合物的量值稳定。对于微量活泼性气体， 正确地选择气瓶处理方法是制备标准气体的关键。

3、组成混合气体各组份原料气的纯度及杂质。除了材料相容性和进行适当的气瓶处理外， 原材料的纯度是另一个值得注意的问题、如果原料中含有和配制组份相同的杂质， 杂质的准确定量就直接影响到组分的量值、如制备氮气为背景气的1ppm二氧化碳标准气体， 除了要知道组分气的纯度外，还要知道高纯氮气中CO2的含量。这样才能给出CO2的准确量值。

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