真空pvd镀膜机-pvd镀膜机-金百辰镀膜设备








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pvd镀膜机与您分享PVD镀膜工艺离子镀(Ion Plating)

PVD镀膜涂层工艺中的为离子镀膜方式;此方法是利用电弧撞击靶材,使靶材原子被激发出来,pvd镀膜机厂家,与反应性气体反应,形成化合物沉积于工件表面的一种技术。炉内运行至高真空后,通入惰性气体,加偏压造成离子(Ar+),真空pvd镀膜机,及带负电的电子(e-),带正电的离子会撞向通入偏压为负极的基板底材,来清洁工件表面;之后再通入反应气体,在靶材和基板底材间产生电浆,进行镀膜作业。此一方式成膜速度快、密著性较佳,多用于切削刀具镀膜涂层处理。

大部分企业都采用的阴极电弧法(cathode arc)进行镀膜作业。与其他方式相比,此种方式拥有较多的离化率、均匀的附着性,大多被应用在金属的硬质镀膜上,特别是要求耐磨耗的物件。





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pvd镀膜机与您分享真空镀铝工艺有哪些常见的问题?

薄膜表面出现褐色条纹

原因: ①真空度低 解决方法:清洁真空室内的送铝、蒸镀装置、冷却系统、放卷、卷取装置及导辊;检查抽真空系统;降低环境湿度。

②薄膜释放气体。解决方法:薄膜预干燥;延长抽真空时间。

③喷铝过多。解决方法:提高车速;降低蒸发舟电流;降低送铝速度。

④蒸发舟内有杂质。解决方法:清洁蒸发舟及热屏蔽板。

⑤蒸发舟老化。解决方法:更换蒸发舟。




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pvd镀膜机与您分享真空镀膜随着PVD镀膜技术应用的迅速推广,pvd镀膜机,吸引了国内外们和相关企业积极研发,至今无论是PVD沉积技术、PVD的制备工艺,还是PVD设备配套装备与部件,都有了长足的进步。

1.冷阴极电弧 阴极电弧技术是在真空条件下,通过低电压和高电流的弧光放电将靶材气化、离化成等离子体状态,从而实现薄膜材料的沉积。近阴极电弧蒸发源有新的发展,主要是通过有效强制冷却和电磁场的设计,在两者共同作用下,使靶材的离化率更高,薄膜性能更加优异。

2.磁过滤阴极弧 配以的电磁过滤系统,将电弧产生的等离子体中的中性宏观粒子、分子团等大颗粒过滤干净,经磁过滤后沉积粒子的离化率达100%,因此制备的薄膜非常致密和平整光滑,具有抗腐蚀性能好,与基体的结合力更强。

3.柱状或平面状大面积电弧源 保证高离化率的同时,减少大颗粒沉积的比例,达到既有好的附着力,pvd镀膜机价格,又有较好的表面光洁度效果。

4.中频磁控溅射 增加离化率,减少电荷积累引起的异常放电,预防靶表面现象,沉积工艺更稳定。





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