是电子束微影中常用的正阻剂，是由单体酸甲酯(methyl methacrylate， MMA)经聚合反应而成。用在电子阻剂的PMMA 通常分子量在数万至数十万之间，受电子束照射的区域PMMA 分子量将变成数百至数千，在显影时低分子量与高分子量PMMA 溶解度的对比非常大。
负阻剂方面，多半由聚合物的单体构成。在电子束曝照的过程中会产生聚合反应形成长链或交叉链结(crosslinking)聚合物，所产生的聚合物较不易被显影液溶解因而在显影后会留在基板表面形成微影图案。目前常用的负阻剂为化学倍增式阻剂(chemically amplified resist)，经电子束曝照后产生氢离子催化链结反应，具有高解析度、高感度，且抗蚀刻性高。
湿度传感器
湿度传感器测量精度:
和测量范围一样，测量精度同是传感器重要的指标。每提高一个百分点。对传感器来说就是上一个台阶，甚至是上一个档次。因为要达到不同的精度，其制造成本相差很大，售价也相差甚远。例如进口的1只廉价的湿度传感器只有几美元，而1只供标定用的全湿程湿度传感器要几百美元，相差近百倍。所以使用者一定要量体裁衣，不宜盲目追求。
生产厂商往往是分段给出其湿度传感器的精度的。如中、低湿段(0-80%RH)为±2%RH，而高湿段(80-100%RH)为±4%RH。而且此精度是在某一温度下(如25℃)的值。如在不同温度下使用湿度传感器.其示值还要考虑温度漂移的影响。众所周知，5wk96765B福田欧曼氮氧传感器原厂，相对湿度是温度的函数，温度严重地影响着空间内的相对湿度。温度每变化0.1℃。将产生0.5%RH的湿度变化(误差)。使用场合如果难以做到恒温，则提出过高的测湿精度是不合适的。因为湿度随着温度的变化也漂忽不定的话，奢谈测湿精度将失去实际意义。所以控湿首先要控好温，这就是大量应用的往往是温湿度一体化传感器而不单纯是湿度传感器的缘故。
多数情况下，如果没有的控温手段，或者被测空间是非密封的，±5%RH的精度就足够了。对于要求控制恒温、恒湿的局部空间，或者需要随时跟踪记录湿度变化的场合，再选用±3%RH
以上精度的湿度传感器。与此相对应的温度传感器，其测温精度须足±0.3℃以上，起码是±0.5℃的。而精度高于±2%RH的要求恐怕连校准传感器的标准湿度发生器也难以做到，更何况传感器自身了。物质研究中心湿度室的文章认为:“相对湿度测量仪表，即使在20-25℃下，要达到2%RH的准确度仍是很困难的。”
汽车湿度传感器工作原理
湿度传感器，5wk96765B福田欧曼氮氧传感器供货商，英文名称为humidity transducer，是一种能感受气体中水蒸气含量，并转换成可用输出信号的传感器。主要应用于机械工程、传感器、气体及湿度传感器等方面。多数情况下，如果没有的控温手段，5wk96765B福田欧曼氮氧传感器价格忧，或者被测空间是非密封的±5%RH的精度就够了。对于要求控制恒温、恒湿的局部空间，或者需要随时跟踪记录湿度变化的场合，再选用±3%RH。
二、湿度传感器工作原理—特性
湿敏元件是简单的湿度传感器。湿敏元件主要电阻式、电容式两大类。
湿敏电阻：湿敏电阻的特点是在基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜，当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值都发生变化，利用这一特性即可测量湿度。湿敏电阻的优点是灵敏度高，主要缺点是线性度和产品的互换性差。
湿敏电容 ：湿敏电容一般是用高分子薄膜电容制成的。当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，5wk96765B福田欧曼氮氧传感器，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。湿敏电容的主要优点是灵敏度高、产品互换性好、响应速度快、湿度的滞后量小、便于制造、容易实现小型化和集成化，其精度一般比湿敏电阻要低一些。
三、湿度传感器工作原理
选择测量范围 ----和测量重量、温度一样，选择湿度传感器首先要确定测量范围。除了气象、科研部门外，搞温、湿度测控的一般不需要全湿程测量。在当今的信息时代，传感器技术与计算机技术、自动控制拄术紧密结合着。测量的目的在于控制，测量范围与控制范围合称使用范围。
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