半导体真空腔体加工-科创真空-半导体真空腔体加工哪家好
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司





主机与附件有什么关系?

有一台离子渗氮炉,工作一段时间后出了问题,设备没动,半导体真空腔体加工,操作工艺没变,就是工件不能进行离子渗氮。用户和厂家查不出问题的所在,感到困惑。经过试验和查找,确定是配套的供气管路出了问题。用户用的是氧气管,用户认为氧气管耐正压没问题,半导体真空腔体加工生产厂家,耐负压也一定没问题;其实不然。换管后问题解决了。我们建议国内生产企业在生产主机的同时为用户提供相应的配套装置。有时配套装置出的问题会影响主机。



真空设备应用领域广泛。如何处理各种复杂问题?

现在真空设备的应用领域愈来愈广,很多是与电、电磁、水、气源和制冷有关的。不论是真空炉还是镀膜设备都会碰到电气部分出问题。相当多的情况下不是电源部分的问题,这一点让人不好理解。其中有的是机械装配中不细心造成的,有的是绝缘材料或结构上的问题。这时,不要急于下结论,不要急于拆卸设备,应认真分析故障现象或请教专门从事此项工作的人员。避免误拆误卸造成不必要的损失。有一台设备,工作时发生放电现象,经过对工作记录的分析和与操作者的交流,得出不同的结论,有人认为电源有问题,有人认为是装配过程的问题。,对设备进行了拆卸,重新装配后放电现象消除了。有一台磁控溅射镀膜机,下半部的产品明显好于上半部的,靶的外表看不出什么问题来,拿高斯计一试,上半部磁环退磁了。经检查原来是水路出了问题。调整了水路,换了磁环,产品上下一致的问题得到了解决。





检测漏率问题

用户头疼的是检测漏率问题。漏分内漏和外漏;外漏比较好检测,内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法,利用气流能使火焰偏离的原理,半导体真空腔体加工价格,先抽上真空,用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻,会发现火苗向漏点偏移,则可找到漏点。我们用自制的检漏仪可以在旋片泵工作范围内进行检漏,半导体真空腔体加工哪家好,现在已经生产ZHC.1型仪表。该检漏仪表用ZJ.2电离规管,规管接在旋片泵吸气口来检测。若是扩散泵机组的话,可以检测到l0P的漏率。





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