气体管道安装
实验室供气系统作为一种气体补给方式,现已经被人们越来越广泛的使用。它是一种包括了气源、切换装置、压力调节设备、终端、报警设备。气路系统通常采用不锈钢管道。
实验室供气系统主要包括中央集中供气系统和气瓶分散供气系统两种模式。实验室集中供气系统已成为实验室的主流,其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高,工作流程更优化。实验室是一个特殊的工作区域,从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑,形成系统的供气迫在眉睫,实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现,气瓶供气已逐步淘汰。
气体管道安装工程要求:
(一)工作压力大于或者等于0.1MPa(表压,下同)的;
(二)公称直径大于25mm的;注1:公称直径即公称通径、公称尺寸,代号一般用DN表示。《压力管道元件制造许可规则》:本规则所称公称直径根据相关标准,依据不同的管材、管件,可以指公称外径、公称内径、通径和口径、公称尺寸。
(三)输送介质为气体、蒸汽、液化气体、工作温度高于或者等于其标准沸点的液体或者可燃、易i爆、有毒、有腐蚀性的液体的。根据原劳动部《压力管道安全管理与监察规定》和质检总局《压力容器压力管道设计许可规则》TSGR1001-2008的定义,管道工程性能,工业管道是指企业、事业单位所属的用于输送工艺介质的工艺管道、公用工程管道及其他辅助管道。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,管道工程哪家好,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,吴中区管道工程,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高。
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