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线槽间的距离即称为平面电机的齿距,而定子则按不同的细分控制方式,按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。对定子的损伤将直接影响工作台的步进精度及设备使用寿命,损坏严重将造成设备无法使用而报废。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中,所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象,另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤,测试治具厂商,而影响平面电机的步进精度及使用寿命。
并推出众多品牌的压床式ICT,其价格更加低廉,迫使曾市占率的日本TESCON淡出市场,并因台湾电子代工业大发展而大幅提高市占率。从上世纪70年始,国内即有开发类似的静态测试仪,1993年,中国本土品牌更日本韩国台湾及香港开发出全台windows版的ICT。时至今日,美国泰瑞达和安捷伦仍是,成为事实上的此类技术的标准!。
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