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由于许多真空应用仅可在一定的压力范围内进行，所以能够准确且安全地测量总压在实际应用中十分重要。系列有效测量并控制真空系统中的总压，全新添加的数字式信号输出功能，可以让其实现高精度且的数据传输。与模拟测量方法相比，能够无损无误地传递用于过程控制和记录的测量数据，得到更加准确的结果。

系列产品配备M12插接头，使该真空计即使在严苛工艺环境中也可使用。真空规还可与HiPace@涡轮分子泵和inficon真空其他产品一起在通信网络中运行。在配件方面，现已有Profibus-DP、DeviceNet或带两个开关点和一个LCD显示器的附加模拟输出设备可供选择

为应对不断变化的市场需求，该系列 很近新增了更多选配件。

此前，该系列真空规仅配备RS-485接口，而现在，还配有工业以太网接口Profinet和EtherCAT。与传统现场总线相比，它们具有数据传输速率极高、接入设备显著更多的优点，因而能够帮助企业加速实现工业4.0目标。ProfiNet和EtherCat接口此外，inficon英福康真空计保养费用，除了此前采用模拟输出的版本，现还配有电容式真空规CCT。该真空计拥有不受气体种类影响和测量精度高的优势，并可用于镀膜过程的准确过程控制、冷冻干燥或校准实验室。

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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法，该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术，只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制，然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号， 很后用峰值检测方法对信号进行解调，得到直流输出。测试结果表明，该测量电路具有良好的线性，测量精度可以达到2%，灵敏度可以达到3.6V/pF。但该电路不易于小型化集成。

图2基于峰值检测的微电容测量电路框图Wang等设计了一种具有宽温度范围的基于CMOS的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法，Vref为输入参考电压，时钟信号Φ1、Φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容Ch1、Ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。

电路采用结构简单、性能稳定的二阶Σ-Δ调制器来实现高的分辨率，其中电容C3=2C4。测量过程分为两个阶段，当信号Cal置“0”时，电路处于正常工作状态，输出为y；当信号Cal置“1”时，电路处于校准状态，C1和C2位置互换，此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声，两者相减即可消除这些噪声。

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热传导真空计的原理？通过什么量的测量来反映热传导的变化？

答：热传导真空计是依据低压气体的热传导与压力有关这一现象来进行测量的。它可以通过热丝电阻的变化来反映温度的变化，从而反映热传导的变化，用此种测量方法的真空计称为热阻真空计，又称为皮拉尼真空计。也可以直接用热电偶测量热丝的温度变化来反映热传导的变化，称为热偶真空计。

影响热传导真空计测量下限的原因是什么？

答：热丝的热量除了气体传热外，还可以沿着热丝本身向两端传热，即固体传热；还可以以辐射的方式传热，这两种传热方式与压力无关，当压力较低，气体的传热量明显低于固体的传热和辐射传热时，就不能反映压力的变化了，即达到了测量的下限。

热传导真空计为什么易老化？

答：因热丝长期工作在高温下，受气体作用易氧化变细，或导致热丝本身结晶构造变化，因此会改变热丝的电阻，造成零点的漂移，这是属于热丝本体的。热丝表面因会吸附气体而改变了表面的适应系数，即热交换的机制，造成灵敏度的变化。以上均属于老化现象。

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