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由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子，大部分由泵壁冷凝，这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射，散射会返回被抽空间，这种现象在低温实验室中要特别注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板，这样就能使返加的蒸气被冷凝下来，截止了油蒸气的返流。

影响油扩散泵性能的因素如下。

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散泵是目前获得高真空的、主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。

影响油扩散泵性能的因素如下。

1、油扩散泵的返流。

2、气体分子的反扩散。

3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001Pa左右)，受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。

4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。

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扩散泵维修保养对系统进行烘烤去气处理。对玻璃系统而言，硬玻璃烘烤温度为400℃～450℃ ，软玻璃为350℃～400℃ 。去气时间视具体要求而定，一般1～2小时。去气完后，真空度仍达不到要求，应使用电离计记P-t曲线，以判断是否漏气。亦可用、酒精等涂抹处，看表针的摆动以发现漏孔。若为去气不良，应进一步烘烤，加长时间去气。新系统一般要抽较长时间才能达到预期的真空度。真空度老上不去，厦门分子泵维修维修保养，则要考虑系统设计、安装是否合理，有无死空间，放气源多否，维修时是否带进了脏物，被抽容器是否清洁等其他因素。

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