采用真空蒸发镀膜制作预定成分的合金薄膜的方法，经常采用的是瞬间蒸发法和双蒸发源蒸镀法。

镀膜系统一般由三个部分组成：真空室、蒸发源或蒸发加热装置、放置基板及给基板加热装置。在真空中为了蒸发待沉积的材料，需要容器来支撑或盛装蒸发物，同时需要提供蒸发热使蒸发物达到足够高的温度以产生所需的蒸汽压。一般应选择镀膜材料的温度到达蒸发温度时，蒸发源材料的蒸气压低于10-6Pa的材料做蒸发源。

真空电镀的简单作用过程：真空电镀接通蒸发源交流电源，橡胶派瑞林镀膜，真空电镀蒸发料粒子熔化蒸发，真空电镀进入辉光放电区并被电离。真空电镀带正电荷的蒸发料离子，阴极吸引下，派瑞林镀膜，随同离子一同冲向工件，真空电镀当抛镀于工件表面上的蒸发料离子逾越溅失离子的数量时，真空电镀则逐渐堆积形成一层牢固粘附于工件表面的镀层。

真空电镀工艺则有所不同，真空电镀是真空罩内进行的但这时镀膜过程是以电荷传递的形式来实现的，真空电镀蒸发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极(即工件)吸引下，五金配件派瑞林镀膜，真空电镀以很高的速度注入到工件表面。

东莞拉奇纳米科技有限公司，是将派瑞林(parylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:无细孔、防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。

Parylene 的介电常数和介电损耗均非常低且不受吸潮的影响；

Parylene 的高纯度、表面憎水性及不存在任何痕量的离子污染又保证了极高的体积电阻率和表面电阻率；

极低的高频损耗，特别适合超高频器件。

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