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广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养

主要特性和优势

       占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

       受zhuanli保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

          超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

        运转时的噪声低至 56 dB(A)，爱德华磁悬浮涡轮泵价格，可在洁净室内实现低噪声。

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        广州潽拓维修分子泵，Edwards EPX TWIN 180L爱德华半导体真空干泵维修

技术参数：

品牌：Edwards                                                        型号：EPX TWIN 180L

入口法兰：ISO63                                                     出口法兰：NW25

水接头：3/8 in快速                                                  电源供给：200/208V，50/60Hz 三相

电机额度功率:3.0kw                                                  重量：55kg

应用：

EPX系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX'L'系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台借口提供控制的清洁工作应用

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Edwards Diffstak 160/700P 小型油蒸汽扩散泵 Diffstak 160/700P

概述：

    紧凑型水冷却Diffstak泵配有集成的冷却挡板，回流超低，漏气更少，并且安装所需的橡胶密封件也大大减少，同时还能提供**清洁的泵送系统。

    多年依赖，通过数千个泵的安装，Edwards Diffstak 160(ISO 160进气口）设计已得到认可。

    这种泵是无阀泵，具有铜制压缩垫片法兰。

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