20 世纪 80 年代，电子产 业的兴起推动特种气体的需求提高，随着气体供应商供气模式的引入，国内 企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为独立的气体公司，国内特种气体市 场逐步发展起来。特种气体种类：广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是重要原材料之一， 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。特种气体种类：电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。

特种气体从应用领域来看，主要包括电子气体、标准气体、食品气体、电光源气体等，其中，电子气体广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程，是下游的行业关键性化工基础材料，被誉为电子产业的“血液”。特种气体的储存注意事项：储存场地的道路，应占整个场地面积的20%以上。充填容器和空容器需要明确区分存放。充填容器入库前需检漏，长期存放的充填高压容器需要每月复检一次，并做记录。灭菌特种气体可杀灭细菌（及其内孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。

 特种气体的储存注意事项：储存高压气体≥300m，液化气≥3000kgs时，高纯特种气体，储存场所需要经过县级以上相关单位批准。高压容器储存场所出入口及显眼处，需设有安全警示牌。特种气体分类：从应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用 于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。特种气体的储存注意事项：根据储存的气体类型设置标牌，如“严禁明火”、“危险”、“禁止入内”等等。并配置消防器材、喷淋系统、吸收剂、中和剂、防毒面具、空气呼吸器等设施。

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