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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部,爱发科真空泵有油R-7联系方式,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,白云区爱发科真空泵有油,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。



1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa,V1开,氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室,爱发科真空泵有油R-4供应商,实现仪器的逆扩散检漏。



若能进一步将试件抽至200Pa以下,则V2关闭,V3打开,从泵的中间口逆扩散至质谱室,若能进一步将试件抽至40Pa以下,爱发科真空泵有油R-80供应商,则V3关闭,V4打开,氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室,或直接进入质谱室(常规检漏)。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程,一气呵成,不仅,也便于漏率的定量,由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的,仪器只需1次校准即可。


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用于氦质谱检漏仪的分子泵的多为抽速60L/s左右的小型泵,对氦气的压缩比在1000左右。分子泵的抽速与动叶轮的转速有关,只有动叶轮的切向速度与气体分子的热运动速度相当时才有抽气能力,且抽速随转速而增,所以抽速在50~150L/s之间的小型分子泵的转速通常达到90000~40000转/分。分子泵的另一性能指标是,压缩比,所谓压缩比是指分子泵的排气口压力与进气口压力之比,压缩比于转速及分子量的关系是:



Kcxexp[GXu(M)17]式中:G为与叶轮几何形状有关的常数;U为叶轮转速;M为气体的分子量。可见分子量大的气体压缩比大。氦质谱检漏仪中,逆扩散检漏正是利用分子泵对小分子量氦气的低压缩比,而且,还通过降低叶轮转速,降低对He的压缩比,从而提高对氦气的响应灵敏度。



改变氦质谱检漏仪的分子泵的转速,分子泵的压缩比会发生变化,分子泵的转速由1500Hz改变为1000Hz,分子泵的压缩比会变小,进入质谱室的氦分压增加,检漏仪检测到氦信号会变大,试验中,检漏仪在1000Hz下的信号是1500Hz信号的3.5倍,也就是说分子泵在1500Hz的压缩比;是1000Hz的3.5倍。

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传统的动平衡技术通过增加额外的质量,例如动平衡配重块,来减少质量分布的不均匀。质量动平衡借助机械加工流程而得到广泛使用,其中包括诸如磨削以及通过钻孔去除材料等工艺。在传统的动平衡过程中,转子的径向偏移是在轴承附近的两个测量层测量的。转子的不平衡度利用一种特殊的算法来确定。为了降低总不平衡程度,转子沿旋转轴分成多个平衡等级,每个等级都有相应的孔。



动平衡配重块沿着各平衡等级的圆周手动拧入。这样就降低了质量分布的不均匀,转子的剩余不平衡度被减少到所需的极限值以下。这里的不平衡度将在多种速度下确定,并逐步完成补偿,从而降低转子的振动并达到额定速度。



近些年来,涡轮分子泵的应用场景越来越多,许多制造领域以前常用低温泵和扩散泵来作为超高真空泵,目前已多被涡轮分子泵所取代。此外,随着相关应用领域对工作环境的要求越发严苛,对涡轮分子泵也提出了更高要求,特别是在次级特性方面。因此,高速转子一直需要进一步开发,包括转子的使用寿命、振动水平(即泵壳上发出的声响和振动),以及基于部件表面脱气性能方面的洁净度指标。

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